[发明专利]抛光垫

摘要

一种具有抛光层的抛光垫，该抛光层具有特定的组成并且在30℃的储存弹性模量与在60℃的储存弹性模量的比为2-15，在30℃的储存弹性模量与在90℃的储存弹性模量的比为4-20，其由聚氨酯或聚氨酯-脲制成。该抛光垫抑制了对被抛光的表面的刮擦并且有效地将表面平面化。具有含有水溶性颗粒的抛光层的抛光垫可以实现较高的去除速率。

主权项

一种具有由聚氨酯或聚氨酯-脲制成的抛光层的抛光垫，其中聚氨酯或聚氨酯-脲包括异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物A和链增长剂B的混合物的固化反应产物，该链增长剂在分子中具有两个或更多个能与异氰酸酯基团反应的含有活性氢的基团，并且满足以下条件“a”和“b”：a.该链增长剂由50-100wt％的数均分子量为300或更小的链增长剂和50-0wt％的数均分子量高于300的链增长剂所组成，b.该链增长剂由20-100wt％的在分子中具有三个或更多个含有活性氢的基团的链增长剂和80-0wt％的在分子中具有两个含有活性氢的基团的链增长剂所组成；并且所述抛光层在30℃的储存弹性模量与在60℃的储存弹性模量的比为2-15，并且所述抛光层在30℃的储存弹性模量与在90℃的储存弹性模量的比为4-20，其中所述异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物A是通过将在分子中具有至少两个异氰酸酯基团的聚异氰酸酯与从在一个分子的两端具有OH基团的二醇化合物、在一个分子中具有三个或多个OH基团的多官能度多元醇和在一个分子中具有两个或多个OH基团的多官能度低分子量醇中选择的在分子中具有两个或更多个OH基团的化合物Y在异氰酸酯基团/OH基团的当量比为2或更大的情况下反应而获得的。