[发明专利]等离子显示面板的电极形成方法无效
| 申请号： | 200510118680.8 | 申请日： | 2005-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN1773651A | 公开（公告）日： | 2006-05-17 |
| 发明（设计）人： | 铃木和雄;柳原直人;石原安彦;川北哲郎;荣福秀马 | 申请（专利权）人： | 富士通日立等离子显示器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J11/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过使从层叠膜的最上层算起的1个下层的金属膜的成分扩散到最上层的金属膜中，可稳定地且有效地刻蚀最上层的金属膜。在玻璃基板上至少形成了第2金属膜后，在其上形成第1金属膜，在用刻蚀液刻蚀已被层叠的金属膜以形成层叠膜的电极时，作为第1金属和第2金属，使用具有在将第1金属和第2金属浸于第1金属的刻蚀液中的状态下若使其短路则第1金属的表面电位下降的性质的金属。然后，实施在第1金属膜的形成中或形成后将气氛温度保持为第2金属膜的金属原子扩散到第1金属膜的膜中和膜表面上那样的温度的扩散工序。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 显示 面板 电极 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有被电介质层覆盖的电极的等离子显示面板的电极形成方法，其特征在于，包括以下工序：在基板上至少形成了第2金属膜后，在其上形成第1金属膜；在层叠的金属膜上形成电极形成用的抗蚀剂图形，用刻蚀液刻蚀该金属膜以形成层叠膜的电极，其中，构成第1金属膜的第1金属与构成第2金属膜的第2金属不同，而且，作为第1金属和第2金属，使用具有在将第1金属和第2金属浸于第1金属的刻蚀液中的状态下若使其短路则第1金属的表面电位下降的性质的金属；以及，在第1金属膜的形成中或形成后将气氛温度保持为第2金属膜的金属原子扩散到第1金属膜的膜中和膜表面上那样的温度的扩散工序。
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