[发明专利]薄膜晶体管制造方法及基板结构

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管制造方法及基板结构，其中基板结构具有一基材及一自我对位光罩。该制造方法是通过将自我对位光罩制作在基材上，使其具有与基材同步热胀冷缩的特性，当提供一曝光源在基材非用以形成薄膜晶体管的一侧时，自我对位光罩可克服塑料基板非等距膨胀收缩而产生的偏位问题，且具有高准度的对位效果，因此可以准确的定义出薄膜晶体管源极及漏极位置。

主权项

1.一种薄膜晶体管的制造方法，其特征在于，包括下列步骤：提供一基材，该基材具有一第一板面及一第二板面，该第一板面上用以形成一薄膜晶体管，其具有一源极、一漏极及一栅极；形成一非透明薄膜在该第二板面上；将该非透明薄膜制作成一光罩；制作该栅极在该第一板面上；制作一透明绝缘层在该栅极及该第一板面上；制作一透明电极层在该透明绝缘层上；制作一光阻在该透明电极层上；提供一曝光源在该第二板面侧，又通过该第一光罩的作用，以定义出该源极及该漏极位置，又将该透明电极层制作出该源极及该漏极；以及制作一半导体层，其设置且电性连接在该源极及该漏极之间。