[发明专利]图案形成方法和功能性膜有效
| 申请号： | 200510116455.0 | 申请日： | 2005-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1764334A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 酒井真理;平井利充 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H05B33/12;H01L21/288;G02F1/13;B41J2/01;B05C5/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的图案形成方法，是在形成功能性膜之前，将设计图案分割成子区域，而且将该多个子区域分类成彼此不相邻的多个组。首先，对第1组进行描绘、干燥，形成布线膜(38a)、(38b)、(38d)，然后，对第2组进行描绘，形成液状体的图案(33c)、(33e)、(33f)、(33g)。然后经过干燥工序，完成一体化的功能性膜。由此，本发明提供在形成功能性膜的图案时可以在线宽或形状等方面高精度地形成的图案形成方法以及功能性膜。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 功能 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，其使用液滴喷出法在基板上形成规定的图案的功能性膜，其特征在于，包括：在所述功能性膜的设计图案中，设定分割该设计图案的多个子区域而且将该多个子区域分类为彼此不相邻的多个组的子区域设定工序；配置所述液状体以描绘属于在所述子区域设定工序中被分类成第1组的子区域的第1描绘工序，和配置所述液状体以描绘属于在所述子区域设定工序中被分类成第2组的子区域的第2描绘工序；在所述第1描绘工序和所述第2描绘工序之间具有使在所述第1描绘工序中被配置的液状体固化的固化工序。
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