[发明专利]用于溅射铝－钕合金的组合件无效
| 申请号： | 200510114033.X | 申请日： | 2005-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN1763240A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 茂山和基 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了减小由结合或膜沉积造成的翘曲并且能够长时间稳定进行膜沉积，提供一种用于溅射Al－Nd合金的组合件，该组合件包括：含有Nd含量0.1到3原子％的铝合金的Al－Nd合金溅射靶，和硬钎焊在Al－Nd合金溅射靶上的背衬板，其中Al－Nd合金溅射靶在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为A，背衬板在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为B，并且A和B满足如下条件(1)：－0.15≤(B－A)/A＜0.15 (1)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 溅射 合金 组合 | ||
【主权项】：
1、一种用于溅射Al-Nd合金的组合件，该组合件包含：Al-Nd合金溅射靶，其包含含有0.1到3原子％的Nd的铝合金；和背衬板，其硬钎焊在Al-Nd合金溅射靶上，其中所述Al-Nd合金溅射靶在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为A，所述背衬板在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为B，并且其中A和B满足如下条件(1)：-0.15≤(B-A)/A＜0.15 (1)。
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