[发明专利]用于支撑和/或热调节基底、支撑台和夹盘的设备和方法有效
| 申请号： | 200510113862.6 | 申请日： | 2005-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1804725A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | J·J·S·M·梅坦斯;A·L·H·J·范米尔;J·J·奥坦斯;E·A·M·范戈佩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/68;B25B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 原绍辉 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 公开了一种包括用于支撑基底的支撑台的设备。该支撑台包括在使用中用于支撑基底的多个接触基底的支撑突起。支撑台包括多个传热突起，当基底由支撑突起支撑时，该传热突起在使用中朝基底延伸但是不接触基底。用于和基底进行热交换的含有气体的换热间隙在传热突起和基底之间延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 支撑 调节 基底 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种设备，其包括用于支撑基底的支撑台，所述支撑台包括多个支撑基底的支撑突起和多个传热突起，当所述基底由所述支撑突起支撑时，所述传热突起朝基底延伸但是不接触基底，其中用于和基底进行热交换的含有气体的换热间隙在传热突起和基底之间延伸。
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