[发明专利]薄板支承容器用夹紧装置

摘要

一种薄板支承容器用夹紧装置，在自动取出放入薄板时防止薄板破损。该薄板支承容器用夹紧装置是将内部收放有半导体晶片进行输送的薄板支承容器(1)载置在输送目的地的装载端口(20)上、在自动取出放入半导体晶片时对上述薄板支承容器进行固定的，其包括：卡止在薄板支承容器(1)的保持部(15)上、对整个薄板支承容器(1)进行支承的钩部(24)；支承该钩部(24)使其可上下移动、在将该钩部(24)卡止在保持部(15)上的状态下进行拉入从而对薄板支承容器(1)进行支承的驱动部(25)；和使通过该驱动部(25)拉入钩部(24)的力在装卸薄板支承容器(1)的盖体(4)时较大，在取出放入半导体晶片时较弱的控制部(31)。

主权项

1.一种薄板支承容器用夹紧装置，是将内部收放着薄板进行输送的薄板支承容器载置在输送目的地的装载端口上、在自动地取出放入上述薄板时对上述薄板支承容器进行固定的薄板支承容器用夹紧装置，其特征在于，包括：钩部，卡止在上述薄板支承容器的保持部上，对整个薄板支承容器进行支承；驱动部，支承该钩部使其可上下移动，在将该钩部卡止在上述薄板支承容器的保持部上的状态下进行拉入，从而对上述薄板支承容器进行支承；控制部，使通过该驱动部拉入上述钩部的力在装卸上述薄板支承容器的盖体时较强，在取出装入上述薄板时较弱。