[发明专利]一种有源矩阵有机发光二极管面板的制作方法无效

专利信息
申请号: 200510113442.8 申请日: 2005-10-09
公开(公告)号: CN1945811A 公开(公告)日: 2007-04-11
发明(设计)人: 陈振铭 申请(专利权)人: 中华映管股份有限公司
主分类号: H01L21/84 分类号: H01L21/84;H01L21/82
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波;侯宇
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种有源矩阵有机发光二极管面板的制作方法,包括:提供基板,形成薄膜晶体管于基板上,形成层间绝缘层覆盖于薄膜晶体管和基板上方,于层间绝缘层中形成多个通孔至薄膜晶体管的源极与漏极表面,于通孔中形成金属层并分别电连接源极与漏极,于电连接漏极的金属层表面形成透明电极,形成像素电极绝缘层于透明电极和层间绝缘层上,以及形成发光二极管于透明电极上,因为本发明省略现有技术钝化层的制作,所以可达到降低成本与简化工艺的目的。
搜索关键词: 一种 有源 矩阵 有机 发光二极管 面板 制作方法
【主权项】:
1.一种有源矩阵有机发光二极管面板的制作方法,该制作方法包含:提供一基板;形成至少一薄膜晶体管于该基板上;形成一层间绝缘层覆盖于该薄膜晶体管和该基板上方;于该层间绝缘层中形成多个通孔至该薄膜晶体管的源极与漏极表面;于所述多个通孔中各形成一金属层并分别电连接该源极与该漏极;于电连接该漏极的该金属层表面形成一透明电极;形成一像素电极绝缘层于该透明电极和该层间绝缘层上;以及形成一发光二极管于该透明电极上。
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