[发明专利]光图像计测装置及光图像计测方法

摘要

本发明提供一种光图像计测装置，即使在计测中被测定物体进行动作，也可以高精度形成基于被测定物体的各种深度的断层图像的3维图像等。该光图像计测装置包括将来自低相干光源的光束分割为信号光S和参照光R的半透镜(6)、使参照光R的频率进行位移的频率位移器(8)、变更参照光R的光路长的参照镜(9)及压电元件(9A)、接受使信号光S和参照光R由半透镜(6)进行重叠而生成的干涉光L并输出检测信号的CCD(21，22)、根据该检测信号形成断层图像的图像形成部(51)、求取各断层图像的计测深度的计测深度计算装置(53)、使所形成的复数个断层图像根据该计测深度而沿计测深度方向进行排列的图像处理部(57)。图像处理部(57)根据所排列的断层图像，形成3维图像等。

主权项

1.一种光图像计测装置，包括：分割装置，将从低相干光源所输出的光束分割为朝向被测定物体的信号光和朝向参照物体的参照光；频率位移装置，使前述信号光的频率和前述参照光的频率相对地进行位移；变更装置，变更前述参照光的光路长；重叠装置，使经由前述被测定物体的前述信号光和经由前述参照物体的前述参照光进行重叠，生成对应前述频率的位移量的拍率的干涉光；检测装置，接受前述生成的干涉光并输出检测信号；图像形成装置，根据前述输出的检测信号，形成与前述信号光的行进方向直交的前述被测定物体的断层图像；其特征在于：具有获取装置，求取前述形成的前述被测定物体的前述断层图像的前述信号光的行进方向上的计测深度。