[发明专利]光纤列阵连接器的制造方法

摘要

一种用于光通讯的光纤列阵连接器的制造方法，该方法的要点是结合飞秒激光照射、化学处理方法在石英玻璃，硼酸盐玻璃，微晶玻璃或透光性陶瓷等基板材料内制造出列阵贯通孔，然后将光纤插入贯通孔内并固定而制造成光纤列阵连接器。本方法避免了以往制造方法所需的预先制造模具，毛坯烧结等步骤，具有制造工艺简单，孔间距的精度高和生产成本低的特点。

主权项

1、一种光纤列阵连接器的制造方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①将可透过飞秒激光的固体材料制成长六面体板块；②所述的板块的插入光纤的一端面固定在一具有高精度位移的三维移动平台上，并使这板块Z轴垂直于所述的三维移动平台；③将一飞秒激光束聚焦照射所述的板块的下表面，然后所述的飞秒激光束利用所述的三维移动平台的沿Z轴运动由下向上地扫描烧蚀所述的板块，形成一条贯通线，再根据需要移动三维移动平台沿水平的X轴和Y轴运动，再进行飞秒激光扫描烧蚀，获得具有间隔均匀的列阵贯通线；④将具有贯通线的板块浸泡在氢氟酸中侵蚀，形成列阵贯通孔；⑤在贯通孔中插入光纤，用粘接剂固定，制成光纤列阵接连器。