[发明专利]基于微电子加工技术的电离气体传感器微阵列结构

摘要

一种微电子技术领域的电离气体传感器微阵列结构。本发明包括：衬底、微电极阵列、微电极条单元、传感器单元，所述的微电极阵列设置在衬底上，包括多个微电极条单元，每对相邻阴阳电极条构成侧壁电极对，可产生可控电场，从而构成一个传感器单元，多个传感器单元组成微电极阵列，依据各个传感器单元内的相邻阴阳电极条的平面几何形状与间距是否相同，传感器单元分为等同单元和相异单元。本发明适于微电子加工技术加工，可将电极形状、间距的多种组合集成在一个微阵列中，因此能对目标气体放电现象的不同电学特征进行系统检测，可以增加检测精度和准确度，易于形成高敏感性、选择性、稳定性、工作安全性和低能耗的微型传感器阵列系统。

主权项

1、一种基于微电子加工技术的电离气体传感器微阵列结构，包括，衬底(1)、微电极阵列(2)、微电极条单元(3)、传感器单元(4)，其特征在于，所述的微电极阵列(2)设置在衬底(1)上，微电极阵列(2)包括多个微电极条单元(3)，每对相邻阴阳电极条构成侧壁电极对，作为产生可控电场的结构，从而构成一个传感器单元(4)，多个传感器单元组成微电极阵列，依据各个传感器单元内的相邻阴阳电极条的平面几何形状与间距是否相同，传感器单元分为等同单元和相异单元，等同单元是指两个单元内的相邻阴阳电极条的平面几何形状与间距完全相同，相异单元是指两个单元内的相邻阴阳电极条的平面几何形状或者间距不同。