[发明专利]带有井伸电极的碲镉汞红外光电导探测器

摘要

本发明公开了一种带有井伸电极的碲镉汞红外光电导探测器，该器件的特征是：在光敏元的二侧各有一个通过离子刻蚀至衬底的圆洞，圆洞内依次镀有铬金属层和黄金层，其总高度与光敏元的高度齐平。在黄金层上再依次镀上铟金属层和黄金层，该铟金属层和黄金层的尺寸要超过圆洞面积，部分覆盖至光敏元的边缘，以便取出光敏元的光电信号。本发明的优点是：井伸电极不存在台阶和坡度，因此也就不存在台阶和坡度连接处发生金属膜翘起和龟裂。井伸电极特别适合于各种面积的红外探测器芯片制造，它可以成型单元、多元，也可以成型线列、面列。井伸电极完全解决了集成化常规延伸电极不能在面列上进行的难题。信号引线焊接可实行机械化操作，提高了产品的可靠性。

主权项

1.一种带有井伸电极的碲镉汞红外光电导探测器，包括：宝石衬底(1)，通过环氧胶固定在宝石衬底(1)上的碲镉汞材料(2)，碲镉汞材料(2)的两表面各生有一层氧化层(3)，光敏元(4)由衬底上的碲镉汞材料(2)和其表面生有的氧化层(3)构成；其特征在于：位于光敏元的二侧各有一个通过氩离子刻蚀至衬底的圆洞(5)，圆洞(5)内依次填有通过真空镀膜的铬金属层(6)和黄金层(7)，铬金属层和黄金层的总高度与光敏元的高度齐平；在黄金层(7)上依次置有通过真空镀膜的铟金属层(8)和黄金层(9)，铟金属层(8)和黄金层(9)的尺寸大小相同，其尺寸要超过圆洞面积，部分覆盖至光敏元(4)的边缘，以便取出光敏元(4)的光电信号；铬金属层(6)、黄金层(7)、铟金属层(8)和黄金层(9)构成一个井伸电极；电极引线(10)位于圆洞上的黄金层(9)上。