[发明专利]一种研磨垫整理器的修正盘循环利用方法无效
| 申请号： | 200510111279.1 | 申请日： | 2005-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN1978138A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 王贝易;王海军 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/02 | 分类号： | B24B53/02;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨垫整理器的修正盘循环利用方法，它可以重复利用研磨垫整理器的修正盘，降低生产成本。所述修正盘包括本体以及附着于本体上的表面钻石，在研磨到设定条件时，采用打磨法或喷沙法，使表面钻石的表面变为不规则的棱角。所述的打磨法：首先选用合适的粘性材料，将工业用钻石粉末固定在载体上，然后用人工或机器的方法，保证一定的压力的情况下，使所述工业用钻石粉末和所述的表面钻石进行一定强度的相互间的机械摩擦；所述的喷沙法：首先将工业用钻石粉末作为研磨介质放入工业用喷沙设备中，然后将所述工业用钻石粉末以高速对表面钻石进行喷射撞击。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 整理 修正 循环 利用 方法 | ||
【主权项】：
1、一种研磨垫整理器的修正盘循环利用方法，所述研磨垫整理器的修正盘包括本体以及附着于本体上的表面钻石，其特征在于，在研磨到设定条件时，采用打磨法或喷沙法，使表面钻石的表面变为不规则的棱角。
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