[发明专利]清洗液组合物无效
| 申请号： | 200510110360.8 | 申请日： | 2005-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1966636A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 张忠心;尹建营 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C11D3/26 | 分类号： | C11D3/26 |
| 代理公司： | 上海虹桥正瀚律师事务所 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗液组合物，其包括如下组分：溶剂、缓冲剂、氟化物、腐蚀抑制剂和水，其特征在于该缓冲剂包括：弱酸、铵类和胺类。本发明的清洗液组合物可以降低使用温度，不会扩大通道的尺寸，消除不平坦的蚀刻，金属或金属氧化物不会有损失，消除器件的电解腐蚀，其还可以用于铜的大马士革制程清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 组合 | ||
【主权项】：
1、一种清洗液组合物，其包括如下组分：溶剂、缓冲剂、氟化物、腐蚀抑制剂和水，其特征在于该缓冲剂包括：弱酸、铵类和胺类。
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