[发明专利]检查浓淡不均的装置和方法、以及记录介质

摘要

一种不均检查装置(1)，检查涂敷在基板(9)上的抗蚀剂的浓淡不均，其对基板(9)的拍摄图像进行压缩后进行低通滤波处理，进而通过高通滤波部(4214)进行高通滤波处理。在高通滤波部(4214)，在高通窗口存在于边缘附近时，高通窗口被缩小从而避开成为滤波处理的像素值算出的对象的关注像素所属的区域以外的区域。这样，在不均检查装置(1)中，通过将利用于高通滤波处理的像素组限制为高通窗口内的像素、即实质上关注像素所属的区域内的像素，从而能提高边缘附近的不均检查的精度。

主权项

1.一种不均检查装置，是检查对象物的浓淡不均的不均检查装置，其特征在于，包括：保持部，其保持对象物；拍摄部，其对上述对象物的一个主面进行拍摄；图像处理部，其对由上述拍摄部获取的对象图像进行图像处理来生成处理完成图像，上述图像处理部具有：边缘检出部，其检测出在上述对象图像中相互不同的浓度的区域的边界、即边缘；高通滤波部，其对上述对象图像进行高通滤波处理；对比度强调部，其对由上述高通滤波部处理后的上述对象图像的对比度进行强调，上述高通滤波部在求取上述处理完成图像中的一个关注像素的像素值时，将在上述对象图像中利用于运算的像素组实质上限制为上述关注图像所属的区域的像素。