[发明专利]吸收型多层膜中性滤光片

摘要

本发明涉及一种将使透射光衰减的吸收型多层膜设置在薄膜基板上的吸收型多层膜ND滤光片，其特征在于，吸收型多层膜(13、16)是通过交替层叠由SiO₂、Al₂O₃或者这些等的混合物构成的电介质层(14、17)和由Ni单体或者Ni类合金构成的金属膜层(15、18)而形成的多层膜构成的，吸收型多层膜在基板的两面上分别形成，从而成为以基板为中心而相互对称的膜结构，并且，基板的弯曲的曲率半径被调整为大于等于500mm。

主权项

1.一种吸收型多层膜中性滤光片，是将使透射光衰减的吸收型多层膜设置在由树脂薄膜、树脂板或者玻璃薄板构成的基板上的吸收型多层膜中性滤光片，其特征在于：上述吸收型多层膜是由如下这样的多层膜构成的，该多层膜是通过交替层叠由SiO2、Al2O3或者它们的混合物构成的电介质层和由Ni单体或者Ni类合金构成的金属膜层而形成的，并且，该吸收型多层膜在上述基板的两面上分别形成，从而成为以该基板为中心而相互对称的膜结构，同时基板的弯曲的曲率半径被调整为大于等于500mm。