[发明专利]具有温度受控的薄片支承板的薄片处理装置无效
| 申请号： | 200510108528.1 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1762704A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | P·G·M·克鲁伊特 | 申请（专利权）人： | 奥西－技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/005 | 分类号： | B41J2/005;G05D23/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种薄片处理装置，其包括：由导热材料制成并且具有第一热容量的薄片支承板(14)，所述板具有至少一个空腔(34)，其形成于限定了板(14)的顶面(42)的顶壁(36)与限定了所述板的底面的底壁(38)之间；以及温控系统，其包括用于使温控流体循环通过空腔(34)的循环系统，其中空腔(34)包含置换体(46)，其与所述顶壁和底壁(36，38)分隔开并且由具有小于所述第一热容量的第二热容量的材料制成。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 温度 受控 薄片 支承 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄片处理装置，其包括：由导热材料制成并且具有第一热容量的薄片支承板(14)，所述板具有至少一个空腔(34)，其形成于限定了板(14)的顶面(42)的顶壁(36)与限定了所述板的底面的底壁(38)之间；以及温控系统(30)，其包括用于使温控流体循环通过所述空腔(34)的循环系统(32)，其特征在于，所述空腔(34)包含置换体(46；46’)，其与所述顶壁(36)分隔开并且由具有小于所述第一热容量的第二热容量的材料制成。
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