[发明专利]带有集成化垂直槽状阴极结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及到带有集成化垂直槽状阴极结构的平板显示器及其制作工艺，带有集成化垂直槽状阴极结构的平板显示器包括由阴极面板、阳极面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔、用于控制电子发射的控制栅极以及生长的碳纳米管阴极、在阳极面板上有光刻的阳极导电层以及制备在阳极导电层上的荧光粉层、支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极面板上制作有集成化垂直槽状阴极结构，增加了碳纳米管阴极的发射面积，充分利用了直接生长法制备的碳纳米管所具有的良好场致发射特性，还将控制栅极结构和碳纳米管阴极结构高度集成化到一起，栅极对碳纳米管阴极的电子发射起着强有力的控制作用，提高了器件的集成度以及碳纳米管阴极的电子发射效率，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种带有集成化垂直槽状阴极结构的平板显示器，包括由阴极面板[1]、阳极面板[10]和四周玻璃围框[9]所构成的密封真空腔、用于控制电子发射的控制栅极[4]以及生长的碳纳米管阴极[8]、在阳极面板[10]上有光刻的阳极导电层[11]以及制备在阳极导电层[11]上的荧光粉层[13]、支撑墙结构[15]以及消气剂附属元件[14]，其特征在于：在阴极面板[1]上有将控制栅极结构和碳纳米管阴极结构集成化一起的的集成化垂直槽状阴极结构。