[发明专利]加速度传感器

摘要

本发明提供一种加速度传感器。该加速度传感器可以减小XYZ三轴的输出差，从而实现省电化。压电阻型三轴加速度传感器具有：外框部(11)，配置于该外框部(11)内的质量部(13)，柔性地支承该质量部(13)的梁部件(14－1a、14－1b、14－2a、14－2b)，形成于该梁部件(14－1a、14－1b、14－2a、14－2b)上的X、Y、Z轴用压电阻体(15－1a、15－1b～15－6a、15－6b)。使Z轴用压电阻体(15－5a、15－5b、15－6a、15－6b)的长度L2长于X轴用压电阻体(15－1a、15－1b、15－2a、15－2b)和Y轴用压电阻体(15－3a、15－3b、15－4a、15－4b)的长度L1，从而使灵敏度降低。

主权项

1.一种加速度传感器，具有：外框部；配置于所述外框部内的质量部；梁部，在由X轴、Y轴和Z轴构成的三次坐标中具有所述X轴方向的梁部件和所述Y轴方向的梁部件，通过所述X轴方向的梁部件和所述Y轴方向的梁部件将所述质量部柔性地连结到所述外框部上；X轴用压电阻体对，具有与所述X轴方向的梁部件的一端相接设置的长度为L1的第一X轴用压电阻体以及与所述X轴方向的梁部件的另一端相接设置的长度为L1的第二X轴用压电阻体；Y轴用压电阻体对，具有与所述Y轴方向的梁部件的一端相接设置的长度为L1的第一Y轴用压电阻体以及与所述Y轴方向的梁部件的另一端相接设置的长度为L1的第二Y轴用压电阻体；Z轴用压电阻体对，具有设置于所述第一X轴用压电阻体附近的长度为L2的第一Z轴用压电阻体以及设置于所述第二X轴用压电阻体附近的长度为L2的第二Z轴用压电阻体；其特征在于，所述第一和第二Z轴用压电阻体的长度L2长于所述长度L1。