[发明专利]衬底检测装置有效
| 申请号： | 200510105118.1 | 申请日： | 2005-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1752743A | 公开（公告）日： | 2006-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李荣钟;崔浚泳;朴将完;金玟洙;葛钟勋;崔相镇;曺载铉 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱登河;王学强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种衬底检测装置，其用于检测LCD衬底表面的缺陷。衬底检测装置能检测整个大尺寸衬衬底固定台改变衬底位置，从而使衬底检测装置的高度和占地面积最小化。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种衬底检测装置，包括：一个表面照明系统，其照亮衬底表面以检测衬底表面缺陷；以及一个衬底定位系统，其将衬底置于表面照明系统的下方以检测衬底表面缺陷，其中表面照明系统固定地安装于一个辅助框架，所述辅助框架围住表面照明系统，以及其中：辅助框架在其一侧通过铰链耦联到一主框架，从而可枢转地运动以沿垂直衬底的方向照亮衬底；并且辅助框架在其另一侧通过驱动单元耦联到主框架，所述驱动单元能朝着或远离主框架而推动或拉动辅助框架。
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