[发明专利]光阻剂剥离液组合物有效
| 申请号： | 200510102849.0 | 申请日： | 2005-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1758144A | 公开（公告）日： | 2006-04-12 |
| 发明（设计）人： | 尹锡壹;金圣培;金玮溶;郑宗铉;许舜范;金柄郁 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 南霆;朱梅 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光阻剂剥离液组合物，提供一种包含环形胺、溶剂及剥离促进剂的光阻剂剥离液组合物。并且，本发明还提供一种包含环形胺、溶剂、防腐剂及剥离促进剂的光阻剂剥离液组合物。本发明光阻剂剥离液组合物不仅在适用于现有LCD模块制备中包括异丙醇(以下简称“IPA”)清洗阶段的一般工程时，而且在适用于最近省略IPA清洗阶段的工程时，不存在对金属布线多余的腐蚀影响，特别是可大大提高剥离能力。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1、一种光阻剂剥离液组合物，其特征在于：包含环形胺、溶剂及剥离促进剂。
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