[发明专利]一种光阻显影液

摘要

一种光阻显影液，它含有Gemini型表面活性剂、碱性化合物和溶剂，其中，Gemini型表面活性剂具有(视图)结构式：式中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R′₁、R′₂、R′₃、R′₄、R′₅分别独立地选自氢、烷基、芳基、芳烷基、卤素；R₆为2～6个亚甲基；n为6－23的整数；本发明的显影液无需加入消泡剂即可获得非常好的显影性、消泡性、分散稳定性，并且图像无残渣。

主权项

1、一种光阻曝光后图像形成时所用的碱性水系光阻显影液，其特征在于，该显影液含有：至少一种重量百分比含量为0.01～3％的具有下述结构式的Gemini型表面活性剂：式中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R‘₁、R‘₂、R’₃、R‘₄、R’₅分别独立地选自氢、烷基、芳基、芳烷基或卤素；R₆为2～6个亚甲基；n为6-23的整数，及至少一种重量百分比含量为0.01～3％的碱性化合物；余量为溶剂。