[发明专利]热动式流量传感器及其制造方法

摘要

在一种热动式流量传感器中，模制材料(50)被成型以一体地覆盖预定范围，以使流量检测芯片的一部分暴露于测量流体，其中该预定范围包括电路芯片(20)、流量检测芯片(10)和电路芯片(20)与连接线(60)的连接部分、和以及电路芯片和导线部分(30)与连接线(61)的连接部分。流量检测芯片位于支承元件的槽部(41)中，以与槽部形成一个间隙(42)并在检测芯片(10)的薄壁部分(12)中形成腔部。该腔部通过包括间隙(42)的连通部分而与外部相通，且间隙(42)至少在位于预定范围内的部分处被填料(44)堵塞。因此，填料(44)可防止模制材料在模制成型时进入间隙。

主权项

1.一种热动式流量传感器，包括：流量检测芯片(10)，其包括具有薄壁部分(12)的基体和具有位于薄壁部分中的加热器(13)的流量检测部分；电路芯片(20)，其通过第一连接线(60)而与流量检测部分电连接，并且具有用于控制流量检测部分的输入和输出的电路部分；导线部分(30)，其通过第二连接线(61)而与电路部分电连接；支承元件(40)，其具有槽部(41)，其中流量检测芯片连接在该槽部中；以及模制材料(50)，其通过模制成型而形成，以一体地覆盖预定范围，以使包括加热器在内的流量检测部分的一部分暴露于测量流体，其中该预定范围包括电路芯片、流量检测部分和电路部分与第一连接线之间的连接部分、以及电路部分和导线部分与第二连接线之间的连接部分；其中：流量检测芯片位于支承元件的槽部中，以使得其与槽部形成一个间隙(42)并在薄壁部分中形成腔部(11)；该腔部通过连通部分(42、43，48)而与薄壁部分的外侧相通，其中该连通部分包括所述间隙(42)；以及所述间隙至少在位于上述预定范围内的一部分处被填料(44)所堵塞，且该填料防止模制材料在模制成型时进入所述间隙。