[发明专利]图案形成方法、电子仪器的制造方法和基体的制造方法无效

专利信息
申请号: 200510099254.4 申请日: 2005-09-07
公开(公告)号: CN1749008A 公开(公告)日: 2006-03-22
发明(设计)人: 平井利充;酒井真理 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B41J2/01 分类号: B41J2/01;H05K3/12
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 设置一种与薄膜图案对应的贮格围堰图案或疏液图案,使其能够在相对于液滴喷出装置的扫描方向倾斜延伸的部分形成良好的薄膜图案。本发明的图案的形成方法包括:形成包围所述图案形成区域的贮格围堰图案的步骤,使(m、n)的可弹落位置与第一液滴的第一投影图像的中心大体一致情况下的所述的第一投影图像的范围,和(m+i、n+j)的可弹落位置与所述的第二液滴的第二投影图像的中心大体一致情况下的所述的第二投影图像的范围,位于所述的物体表面上的图案形成区域内。而且所述的第一液滴和所述的第二液滴,由所述的(m、n)的可弹落位置与所述的(m+i、n+j)的可弹落位置之间的距离所决定,使其在所述图案形成区域上扩展后互相合流。
搜索关键词: 图案 形成 方法 电子仪器 制造 基体
【主权项】:
1.一种图案的形成方法,是用从喷嘴喷出第一液滴和第二液滴的液滴喷出装置,在物体表面上形成图案的图案形成方法,其中包括:步骤(A)和步骤(B),所述步骤(A),形成包围所述图案形成区域的贮格围堰图案,以使当用整数m和n表示所述物体表面上的座标,同时用i和j表示0以外的两个整数的情况下,(m、n)的可弹落位置和所述第一液滴的第一投影图像的中心大体一致情况下的所述第一投影图像的范围,与(m+i、n+j)的可弹落位置和所述第二液滴的第二投影图像的中心大体一致情况下的所述第二投影图像的范围,位于所述的物体表面上的图案形成区域内;所述步骤(B),向所述(m、n)的可弹落位置喷出所述第一液滴,同时向所述(m+i、n+j)的可弹落位置喷出所述第二液滴,形成将所述图案形成区域覆盖的图案;所述第一液滴和所述第二液滴,由所述的(m、n)的可弹落位置与所述(m+i、n+j)的可弹落位置之间的距离所决定,使其在所述图案形成区域上扩展后互相合流。
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