[发明专利]曝光用光源无效
| 申请号： | 200510099081.6 | 申请日： | 2005-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1743960A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 三宅健 | 申请（专利权）人： | 三荣技研株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种采用多个面发光元件作为代替灯的发光源、并利用该面发光元件和光学系统能大功率输出平行光的曝光用光源。用安装在基板1上的多个面发光元件发出的光作为发光源，让该光从靠近该面发光元件配置的光学多棱柱3的端面射入，利用光学多棱柱3使照度均匀。使光学多棱柱3的另一端面射出的光9利用透镜4聚光照射曲面镜5，并利用曲面镜5变换成平行光11，平行光11再照射光掩模6。利用照射光掩模6的平行光，将光掩模6上所画的图形转印在形成于基板7上的感光膜，这样进行曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 用光 | ||
【主权项】：
1.一种曝光用光源，其特征在于，采用具有集合成平面状的多个面发光元件的发光源和光学系统，使所述面发光元件发出的光聚光，照射曲面镜，利用所述曲面镜变换成平行光，对曝光面照射光。
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