[发明专利]基板载置台及基板的吸附、剥离方法有效
| 申请号： | 200510097673.4 | 申请日： | 2005-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN1754629A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | 楫间淳生;山口和伸;高濑真治;谷本恒夫;木山孝志 | 申请（专利权）人： | 东京応化工业株式会社;龙云株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张天安 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种基板载置台，能够不夹有气体地水平固定玻璃基板等，并且容易剥离。基板载置台(1)分成多个俯视时成同心状的区域(1a、1b、1c、1d、1e)，形成在最中心部区域(1a)上的吸引兼喷射孔(2)的密度比外侧区域(1b～1e)的密度要高，吸引兼喷射用喷嘴(4)插入上述各孔(2)中，该喷嘴(4)在基板载置台(1)的背面一侧与配管相连接。各配管经由未图示的切换阀有选择地连接在真空泵或气体管线上。本发明中按照各区域配置配管，能够按照各区域控制吸引或者喷射。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载置台 吸附 剥离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种载置固定玻璃基板等基板的基板载置台，其特征是，在该基板载置台的上表面上形成有多个与真空源连接的吸引孔以及与压力气源连接的喷射孔，基板载置台分成多个俯视时为同心状的区域，经由上述吸引孔的吸引以及经由上述喷射孔的喷射按照各区域独立地进行。
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