[发明专利]电容式微机械陀螺无效
| 申请号： | 200510096227.1 | 申请日： | 2005-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1749693A | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | 苑伟政;常洪龙;谢建兵;蒋庆华 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01C19/00 | 分类号： | G01C19/00;G01C19/56 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 黄毅新 |
| 地址： | 710072陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式微机械陀螺，用来解决现有技术中不能实现驱动模态与检测模态的解耦问题，其特征在于：两根驱动梳齿梁(28)分别与固定在内锚点(96)上的内驱动弯曲梁(72)和连接在惯性质量平板框架(22)上的内敏感弯曲梁(74)相连；驱动梳齿梁(28)的两侧分别伸出一组驱动梳齿(30)，与驱动施力电极(32)上伸出的驱动检测梳齿(34)交叠构成变面积的驱动施力电容对(36)，与驱动检测电极(40)上伸出的驱动检测梳齿(42)交叠构成变面积的驱动检测电容对(44)；驱动施力电极(32)和驱动检测电极(40)均通过锚点固定在基体上。由于本发明采用了解耦梁结构，可实现陀螺驱动模态与敏感模态之间的解耦。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 机械 陀螺 | ||
【主权项】：
1、一种电容式微机械陀螺，包括惯性质量平板框架(22)、检测梳齿(46)、左变间距梳齿(48.1)、右变间距梳齿(48.2)、驱动弯曲梁(52)、敏感弯曲梁(54)以及无变形连接梁(56)，惯性质量平板框架(22)通过四根驱动弯曲梁(52)分别与两根无变形连接梁(56)连接，再由四根敏感弯曲梁(54)通过锚点(60)固连于基体，惯性质量平板框架(22)的外侧分别伸出一组检测梳齿(46)，左变间距梳齿(48.1)和右变间距梳齿(48.2)等距离位于检测梳齿(46)两侧构成变间距的敏感电容对(50)，并通过锚点固定在基体上，其特征在于：两根驱动梳齿梁(28)分别连接在内驱动弯曲梁(72)上，内驱动弯曲梁(72)固定在内锚点(96)上，连接在驱动梳齿梁(28)上的内敏感弯曲梁(74)的另一端与惯性质量平板框架(22)相连；驱动梳齿梁(28)的两侧分别伸出一组驱动梳齿(30)，驱动梳齿(30)与驱动施力电极(32)上伸出的驱动检测梳齿(34)交叠构成变面积的驱动施力电容对(36)，驱动梳齿(30)与驱动检测电极(40)上伸出的驱动检测梳齿(42)交叠构成变面积的驱动检测电容对(44)；驱动施力电极(32)和驱动检测电极(40)均通过锚点固定在基体上。
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