[发明专利]一种等离子显示屏透明电极的修复方法无效
| 申请号： | 200510096152.7 | 申请日： | 2005-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN1750215A | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | 罗向辉;丁兴隆 | 申请（专利权）人： | 彩虹集团电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J9/50 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘国智 |
| 地址： | 71202*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子显示屏透明电极的修复方法。该方法首先在带有ITO膜的前玻璃基板【1】上用贴膜机粘贴感光抗蚀膜【2】，然后通过ITO的母板对感光抗蚀膜【2】曝光和显影并在其上形成ITO电极的图形【3】；再通过检查设备对整个带有图形【3】的膜面进行检查，找出膜面上影响ITO刻蚀的缺陷【4】并对其进行定位，并将其坐标传送于修复设备；通过修复设备找到缺陷【4】并在其上涂敷保护ITO膜不被刻蚀掉的油性物质形成保护图形【5】，然后对这些保护过的屏进行刻蚀；最后通过激光修理机将多余的或短路的ITO膜【7】去掉，激光切割时沿着原来ITO电极图形【3】的边缘进行。本发明方法修复的ITO电极图形完好，厚度均匀一致，几乎看不到修复的痕迹。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 显示屏 透明 电极 修复 方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离子显示屏透明电极的修复方法，其特征是，该方法包括下述步骤：a)首先在带有ITO膜的前玻璃基板【1】上用贴膜机粘贴感光抗蚀膜【2】，然后通过ITO的母板对感光抗蚀膜【2】曝光和显影并在其上形成ITO电极的图形【3】；b)再通过检查设备对整个带有图形【3】的膜面进行检查，找出膜面上影响ITO刻蚀的缺陷【4】并对其进行定位，并将其坐标传送于修复设备；c)在缺陷【4】上涂敷保护ITO膜不被刻蚀掉的油性物质形成保护图形【5】，然后对这些保护过的屏进行刻蚀；d)最后通过激光修理机将多余的或短路的ITO膜【7】去掉，激光切割时沿着原来ITO电极图形【3】的边缘进行。
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