[发明专利]声表面波元件及其制造方法以及通信机器有效
| 申请号： | 200510095974.3 | 申请日： | 2005-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN1741378A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 尾原郁夫;卷渕大辅;村冈邦彦;饭冈淳弘 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种声表面波元件，在钽酸锂单晶体或铌酸锂单晶体所构成的、含氧量比化学计量比组成少的弱热电性的压电基板(1)上，形成氧化层(2)，在其之上形成IDT电极(3)。因此，能够消除弱热电性的压电基板的热电效应所导致的微细电极的静电破坏，且不会发生频率特性的劣化。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 元件 及其 制造 方法 以及 通信 机器 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波元件，是通过在钽酸锂单晶体或铌酸锂单晶体所构成的弱热电性的压电基板上，形成IDT电极而构成的声表面波元件，其特征在于：所述弱热电性的压电基板的表面的没有形成所述IDT电极的区域中，形成有比基板内部含氧量高的氧化层；所述IDT电极形成在所述氧化层上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京瓷株式会社，未经京瓷株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510095974.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
