[发明专利]加热的基材支撑及其制造方法无效
| 申请号： | 200510093934.5 | 申请日： | 2005-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1760722A | 公开（公告）日： | 2006-04-19 |
| 发明（设计）人： | 罗尔夫·A·冈瑟;柯蒂斯·B·哈米尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供形成基材支撑的方法和装置。在一实施例中，该基材支撑包括一机体其具有一支撑面以及至少一个沟槽。该沟槽内配置有由一展性散热片环绕的发热组件。散热片可由一个或多个部件组成。该沟槽内散热片上方配置有一沟盖，且具有一上表面，它是配置成实质上与支撑面齐平。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 基材 支撑 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基材支撑，包含：一机体，具有一支撑表面；至少一沟槽，形成于该机体内；一发热组件，配置在所述沟槽内；及一散热片，环绕着所述的发热组件且与该发热组件及机体接触。
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