[发明专利]基板处理装置和基板定位装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置和基板定位装置，可省空间高效率地决定被处理基板的位置。在将基板(G)移载在提升销(132)上后，各旋转驱动部(152)经过旋转驱动轴(154)使各偏心可动定位销(150)从原来位置旋转约半圈。通过这样做，一面使定位销(150)偏心旋转运动一面向着与它对置的基板(G)的各边移动，套环(接触部)(150b)与基板边缘部(基板侧面)接触，进一步从那里按压基板(G)。因此，使基板(G)在按压在提升销(132)上的方向中变位或移动，将基板(G)的相反侧的长边按压到固定定位销。结果，将基板(G)夹持在偏心可动定位销(150)和固定定位销之间，完成定位。

主权项

1.一种基板处理装置，该基板处理装置将被处理基板载置在载物台上对所述基板实施规定的处理，其特征在于，该基板处理装置包括：将所述基板在水平的X方向中可以变位地支撑在所述载物台的上面或它上方的支撑部；具有铅直方向的旋转中心线的旋转体、使该旋转体旋转的旋转驱动部、和与所述旋转体一体地旋转并利用所述旋转驱动部的旋转驱动力与所述基板的侧面接触在X方向按压所述基板的接触部，与所述旋转体的旋转角度相应在X方向移动所述接触部的位置的旋转型按压部；和将在X方向由所述旋转型按压部按压的所述基板挡住在相反侧的一定位置上的挡止部。