[发明专利]测试LCD TFT显示器像素的方法有效
| 申请号： | 200510091910.6 | 申请日： | 2005-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN1737592A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | A·文策尔;R·施密德;M·布鲁纳 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明系提供一设备和以电子束测试复数液晶显示器的方法，该液晶显示器包含复数非均匀电极其具有一导电部和一介电部。依照本发明方法，因为增加该电子束直径，所以该电子束较不聚焦，亦即，该电子束在一非均匀电极区域上面被放大或被模糊化。增加该电子束之直径，使得电子束可自该非均匀电极区之该导电部产生复数个二次电子。所配置之测试电子束可以为圆形、椭圆形或是其他适当形状。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 lcd tft 显示器 像素 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用以在一平板显示器基板上执行电子束测试复数TFT元件的方法，该平板显示器基板包含复数非均匀电极区域，各非均匀电极区域具有一导电部和一介电部，该方法包含：配置一电子测试束之步骤，该电子测试束具有一区域其足够覆盖该介电部的至少一部分和该导电部的至少一部分；以及引导该电子测试束至该非均匀电极区域上面之步骤。
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