[发明专利]探测器和使用探测器的测试设备

摘要

本发明提供一种探测器，其包括一具有一机架接地端子的机架、一卡盘台、用于驱动所述卡盘台的多个伺服电动机、连接到所述伺服电动机的多个伺服放大器、上面提供有所述伺服放大器的多个第一浮动装配台、一上面提供有所述伺服电动机的第二浮动装配台。所述第一浮动装配台与所述机架电绝缘且具有连接到所述伺服放大器的所述接地端子的第一接地端子。所述第二浮动装配台与所述机架电绝缘且具有一连接到所述伺服电动机的所述接地端子的第二接地端子。所述探测器进一步包括：连接所述伺服放大器和所述伺服电动机的屏蔽电缆；连接所述第一接地端子和所述机架接地端子并且也连接所述第一接地端子和所述第二浮动装配台的一第一导线；和连接所述屏蔽电缆和所述机架接地端子的第二导线。

主权项

1.一种探测器，其包含：一具有一机架接地端子的机架；一用于放置一被测装置的卡盘台；用于驱动所述卡盘台的至少一个伺服电动机，每一伺服电动机具有一接地端子；连接到所述伺服电动机的至少一个伺服放大器，每一伺服放大器具有一接地端子；上面提供有所述至少一个伺服放大器的至少一个第一浮动装配台，所述第一浮动装配台与所述机架电绝缘并具备一连接到所述伺服放大器的所述接地端子的第一接地端子；上面提供有至少一个所述至少一个伺服电动机的至少一个第二浮动装配台，每一第二浮动装配台与所述机架电绝缘并具备一连接到所述至少一个伺服电动机的每一个的所述接地端子的第二接地端子；一连接所述伺服放大器和所述伺服电动机的屏蔽电缆；一连接所述第一接地端子和所述机架接地端子并连接所述第一接地端子和所述第二浮动装配台的第一导线；和一连接所述屏蔽电缆和所述机架接地端子的第二导线。