[发明专利]像素电极的开关元件及其制造方法无效
| 申请号： | 200510089657.0 | 申请日： | 2005-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN1738058A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 方国龙;蔡文庆;杜国源;林汉涂 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种适用于显示器的像素电极的开关元件及其制造方法，包括：形成栅极于部分的一基板上方。形成高介电常数材料层于该栅极上方，其中该高介电常数材料层包括氧化铪(HfO2)、氧化氮铪(HfNO)、氧化硅铪(HfSiO)、氧化氮硅铪(HfSiNO)、或氧化铝铪(HfAlO)。形成半导体层于该高介电常数材料层上方；以及形成源/漏极于部分该半导体层上方。 | ||
| 搜索关键词： | 像素 电极 开关 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种像素电极的开关元件，适用于显示器，包括：栅极，位于基板的一部分的上方；高介电常数材料层，位于该栅极上方，其中该高介电常数材料层包括氧化铪、氧化氮铪、氧化硅铪、氧化氮硅铪、或氧化铝铪；半导体层，位于该高介电常数材料层上方；以及源/漏极，位于部分该半导体层上方。
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