[发明专利]半导体装置及半导体装置的制造方法无效
| 申请号: | 200510089468.3 | 申请日: | 2005-08-15 | 
| 公开(公告)号: | CN1741284A | 公开(公告)日: | 2006-03-01 | 
| 发明(设计)人: | 加藤树理 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 | 
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/40;H01L21/336;H01L21/28 | 
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 | 
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP | 
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| 摘要: | 提供一种半导体装置及半导体装置的制造方法,既能缓解场电极的配置制约,又能形成场电极。在半导体基板(101)上依次形成绝缘层(102)、半导体层(103)、绝缘层(104)和半导体层(105),在半导体层(105)上配置栅电极(107),同时通过在半导体层(105)上形成源极层(109a)和漏极层(109b),在半导体层(105)上形成电场效应型晶体管,通过介由接触区域(C1),将栅电极(107)与半导体(103)连接,在半导体层(105)的背面侧配置场电极。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
                1.一种半导体装置,其特征在于,具备:在半导体层上形成的栅电极;在上述半导体层上形成、并配置在上述栅电极侧方的源极/漏极层;和在上述半导体层背面侧,介由绝缘层配置的场电极。
            
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