[发明专利]加温闪光两用纳米压印装置

摘要

加温闪光两用纳米压印装置，由双路CCD对准系统、Z向校正器、紫光照明系统、左右侧板、油压顶系统、承片加热台、倾斜校准机构和控制系统等组成，主机大底板位于电气控制系统的机台柜上，并安装了左右侧板和后板及上面安装了横板构成框架，在横板的下面悬挂有Z向校正机构和装有压模的倾斜校准机构，在主机大底板的中间正对压模的位置装了油压顶系统，使安于上面的XYθ微动工件台、承片加热台和基片上升压紧压模而压印出纳米图形结构，装于横板上的紫光照明系统可对压印层聚合物进行紫光照射使其固化，同时承片吸板可被加热升温和降温，使聚合物固化脱模，从而可实现闪光压印和加温大面积压印。本发明发挥出了两种压印方法的优点，以利于推广应用。

主权项

1、加温闪光两用纳米压印装置，其特征在于：它由双路CCD对准系统(1)、横板(2)、Z向校正器(3)、紫光照明系统(4)、主机大底板(11)、油压顶系统(6)、承片加热台(13)、倾斜校准机构(16)和控制系统(20)组成，主机大底板(11)安置于内放控制系统(20)的机台柜(9)上，在主机大底板(11)的左右及后面上安装了左侧板(5)、右侧板(17)和后板(18)，又在它们的上面安装了横板(2)；在主机大底板(11)的左右侧板中间安装了油压顶系统(6)，用于使安装于上面的XYθ微动工件台(12)和基片(14)上升压紧压模(15)而压出纳米结构图形，在油压顶系统(6)的左右两侧安装了Z向直线导轨机构(7)，用于油压顶系统(6)上下导向，在油压顶系统(6)的上面安装了XYθ微动工件台(12)；在XYθ微动工件台(12)的上面还安装了承片加热台(13)，可吸附基片(14)，在横板(2)的下面和基片(14)的正上方悬挂装有倾斜校准机构(16)和Z向校正机构(3)；在倾斜校准机构(16)的下面安有压模(15)，压模(15)与基片(14)之间的压印密闭区可抽真空，双路CCD对准系统(1)能伸入倾斜校准机构(16)内采集压模(15)和基片(14)上对准标记图形的图像；紫光照明系统(4)安装于横板(2)上，在需要紫光照射时可通过中空的倾斜校准机构(16)和Z向校正机构(3)，从上向下通过压模(15)照射压印层聚合物，使聚合物固化，从而可实现闪光压印，也可实现加温压印的两种纳米压印功能。