[发明专利]高读取电流的电子数据存储器件

摘要

一种存储器件布置在基板(401)上并具有至少一个存储单元(100)。所述存储单元包括存储电荷用的储能电容(200)和选择存储单元(100)用的选择晶体管。所述选择晶体管包括第一传导电极(301)，第二传导电极(302)和控制电极(303)。由具有从基板(401)突起的鳍(405)的栅极单元(400)提供所述控制电极(303)，所述的鳍被栅氧化层(406)和栅电极层(403)包裹，其中第一和第二栅极元件(408a，408b)设置在鳍(405)的相对侧向区域，而第三栅极元件(408c)设在与基板(401)的表面平行的鳍(405)的区域。

主权项

1.一种电子数据存储器件，它被布置在基板(401)上，具有至少一个被布置成存储单元阵列的存储单元(100)，所述至少一个的存储单元(100)具有：a)存储电荷用的储能电容器(200)，所述电容器具有：a1)第一电容电极(201)；a2)第二电极(202)，它与第一电容电极(201)绝缘，并与基板(401)电连接；a3)在第一电容电极(201)和第二电容电极(202)之间引入的介电层(203)；b)用以选择至少一个存储单元(100)的选择晶体管(300)，所述晶体管具有：b1)第一传导电极(301)，该电极与存储单元阵列的位线(BL)相连；b2)第二传导电极(302)，它与第一电容电极(201)相连；b3)控制电极(303)，它与存储单元阵列的字线(WL)相连；c)由具有从基板(401)突起的鳍(405)的栅极单元(400)给出所述控制电极(303)，所述鳍由一层栅氧化层(406)和栅电极层(403)所包裹，以便在该鳍(405)的相对侧向区域形成第一和第二栅极元件(408a，408b)；其特征在于，d)在与基板(401)表面平行的鳍(405)的区域中设置第三栅极元件(408c)。