[发明专利]电路装置的制造方法有效
| 申请号: | 200510083641.9 | 申请日: | 2005-07-13 |
| 公开(公告)号: | CN1728353A | 公开(公告)日: | 2006-02-01 |
| 发明(设计)人: | 高草木贞道;五十岚优助;根津元一;草部隆也 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 马莹;邵亚丽 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 一种可靠性高的电路装置的制造方法,实现了电路装置的小型化、薄型化及轻量化。本发明电路装置的制造方法,在支承衬底(11)的上面形成构成电路装置的树脂密封体(31)后,使树脂密封体(31)从支承衬底(11)分离。因此,可制造没有衬底的电路装置。由此,可实现电路装置的薄型化、小型化、轻量化及散热性的提高。另外,由于可在支承衬底(11)上利用密封树脂(28)进行密封,故可防止密封树脂(28)和导电图形(20)、及密封树脂(28)和电路元件(25)的热膨胀系数之差造成的挠曲。因此,由于可抑止导电图形(20)的剥离或导电图形(20)和金属细线(27)的连接不良,故可制造可靠性高的电路装置(10A)。 | ||
| 搜索关键词: | 电路 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种电路装置的制造方法,其特征在于,包括:在支承衬底的表面形成由第一导电图形和形成地比所述第一导电图形厚的第二导电图形构成的布线层的工序;将所述布线层和电路元件电连接的工序;由密封树脂密封所述支承衬底的上面,使其覆盖所述电路元件的工序;以及从所述支承衬底分离所述布线层及所述密封树脂的背面的工序。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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