[发明专利]测厚仪以及磨削装置

摘要

本发明涉及测厚仪以及磨削装置。不损伤板状物即可准确地测定其厚度。通过使流体流向保持在保持平台上的板状物的上表面2a，形成流体膜3的同时，在筒状体12的内部形成流体柱4，从发送器17发出超声波之后根据其反射波到达的时间求出板状物2的厚度。由于筒状体12并不与板状物2接触，因而不会损伤板状物。

主权项

1、一种测定板状物厚度的测厚仪，其特征在于包括：保持板状物的保持平台，使流体流向保持在该保持平台上的板状物表面，形成流体膜，经该流体膜与该板状物的上表面间接接触，同时在其内部形成由该流体构成的流体柱的筒状体；给该筒状体提供流体的流体供给器；产生超声波的超声波发生器；使该超声波发生器产生的超声波通过该流体柱以及该流体膜朝该板状物发送的发送器；捕捉朝该板状物发送的超声波的反射波的接收器；接收该接收器捕捉到的反射波的反射波接收器；通过求出该超声波发生器发送出超声波之后到在该反射波接收器接收到该板状物下表面的反射波的时间，计算出该板状物厚度的厚度计算器。