[发明专利]具有功能薄膜的电子器件的制造方法无效
| 申请号： | 200510081830.2 | 申请日： | 2005-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1725422A | 公开（公告）日： | 2006-01-25 |
| 发明（设计）人： | 近藤亮史 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;B41J2/01;B05C5/00;H01L31/12;H05B33/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的一个目的是获得具有薄膜的电子器件的薄膜的均匀形状。本发明包含以下步骤：通过使用具有排出包含功能薄膜材料的溶剂液滴的多个喷嘴的喷墨头，从多个喷嘴中的至少一部分为基板提供液滴，形成近似线状液滴图案；和干燥已经提供在基板上的液滴，通过位于与来自喷墨头的近似线状液滴图案正交的方向上并具有比该近似线状液滴图案宽的排气孔的吸气排气装置执行该干燥步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 功能 薄膜 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有功能薄膜的电子器件的制造方法，包含以下步骤：使用具有排出包含功能薄膜材料的溶剂液滴的多个喷嘴的喷墨头，通过从多个喷嘴中的至少一部分提供液滴到基板上，形成近似线状液滴图案；和干燥提供到基板上的液滴，其中通过位于与来自喷墨头的近似线状液滴图案正交的方向上并具有比该近似线状液滴图案宽的排气孔的吸气排气装置执行该干燥步骤。
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