[发明专利]薄膜形成方法无效
| 申请号： | 200510081303.1 | 申请日： | 2005-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1716053A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 春日治;蛭间敬 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;G02F1/1333;B05C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜形成方法，是将液体材料作为液滴喷出而在基板(20)上形成薄膜的薄膜形成方法，向比薄膜形成区域(A)更宽的液体材料配置区域(B)喷出所述液体材料，通过使所述液体材料干燥，将所述薄膜的端部的隆起部分(H1)配置在所述薄膜形成区域(A)外。根据本发明，可以更为可靠地并且更为简单地将给定的薄膜形成区域的薄膜的膜厚均匀化。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜形成方法，是将液体材料作为液滴喷出而在基板上形成薄膜的薄膜形成方法，其特征是，向比薄膜形成区域更宽的液体材料配置区域喷出所述液体材料，通过使所述液体材料干燥，将所述薄膜的端部的隆起部分配置在所述薄膜形成区域外。
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