[发明专利]薄膜蚀刻方法以及使用该方法制造液晶显示器件的方法有效
| 申请号： | 200510080123.1 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1770017A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 朴正权 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/133 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜蚀刻方法，包括：在基板上形成层，在所述层上对准地设置其上限定有图案的掩模；以及通过使用飞秒激光通过掩模照射基板去除部分所述的层。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 蚀刻 方法 以及 使用 制造 液晶显示 器件 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜蚀刻方法，包括：在基板上形成层；在所述层上对准地设置其上限定有图案的掩模；以及通过使用飞秒激光通过所述掩模照射基板去除部分所述的层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于LG.菲利浦LCD株式会社，未经LG.菲利浦LCD株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510080123.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：自动变速器的摩擦接合装置
- 下一篇：用于合成器的梳形频谱发生器
