[发明专利]电子部件清洗液有效
| 申请号： | 200510079837.0 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1715387A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 高岛正之 | 申请（专利权）人： | 东友FINE－CHEM株式会社 |
| 主分类号： | C11D1/83 | 分类号： | C11D1/83;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新的电子部件清洗液，该清洗液可以抑制硅或除硅以外的金属的腐蚀，并且可以有效清除附着在电子部件表面上的细尘或有机物质，而且不容易产生白色浑浊。本发明提供的电子部件清洗溶液的特征为包含阴离子表面活性剂、氢氧化物、金属腐蚀抑制剂、水和由式(I)代表的非离子型表面活性剂和/或由式(II)代表的非离子型表面活性剂，其中EO是氧乙烯基，PO是氧丙烯基。x和y以及a和b是正数，其中x/(x+y)和a/(a+b)均在0.05～0.5的范围内，z和c是正整数。R是从由化合价为1～4的基团代表的醇或胺的羟基除去氢原子后的残基。见所述式(I)和式(II)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 部件 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种电子部件清洗液，其特征在于包含阴离子表面活性剂、氢氧化物、金属腐蚀抑制剂、水和由式(I)代表的非离子型表面活性剂和/或由式(II)代表的非离子型表面活性剂：HO-((EO)x-(PO)y)z-H (I)R-[((EO)a-(PO)b)c-H]m (II)其中，EO是氧乙烯基，PO是氧丙烯基，x和y以及a和b是正数，而且x/(x+y)和a/(a+b)均在0.05～0.5的范围内，z和c是正整数，R是以下单价基团R1O (1)H2NR1NH (2)H2NR1O (3)，以下二价基团OR1O (4)HNR1O (6)HNR1NH (7)以下的三价基团和以下的四价基团R1是具有1～20个碳原子的烃基，并且选择性地具有羟基和/或烷基作为取代基，m是对应于R化合价的1至4的整数。
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