[发明专利]辐射敏感树脂组合物无效
| 申请号： | 200510079171.9 | 申请日： | 2005-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1716094A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 川口裕次郎;中野由子;白川政和 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G02F1/133 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种辐射敏感树脂组合物，其包含(A)具有硬化性能的碱溶性树脂、(B)醌二叠氮化合物、(C)溶剂和(D)硅烷偶联剂。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 敏感 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种辐射敏感树脂组合物，其包含(A)具有硬化性能的碱溶性树脂、(B)醌二叠氮化合物、(C)溶剂和(D)硅烷偶联剂。
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