[发明专利]一种晶片工艺卡具无效
| 申请号： | 200510078611.9 | 申请日： | 2005-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1885519A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 朱蓉辉;惠峰;卜俊鹏;郑红军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶片加工工具技术领域，特别是一种晶片工艺卡具。由侧推立柱(1)，四面锥体(2)以及卡具体(3)组成，卡具体(3)同其他工艺部分连接，连接方式根据需要设定。晶片卡具由侧推立柱1，四面锥体底座2，卡具体3组成。侧推立柱1垂直安置在卡具体3的周边位置上，四面锥体底座2分布安置在卡具体3的周边位置上。可应用到甩干、清洗、涂胶、检测等方面，根据晶片的大小和形状制成不同尺寸，不使用真空吸附，避免二次粘污，晶片正表面同卡具不接触，背表面及边缘同晶片实现点接触，可保证晶片两面的洁净程度，比较稳定，不会由于选转飞片，不会由于边缘存在死角而留下水迹。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 工艺 卡具 | ||
【主权项】：
1.一种晶片工艺卡具，其特征是：由侧推立柱(1)，四面锥体(2)以及卡具体(3)组成，卡具体(3)同其他工艺部分连接，连接方式根据需要设定。
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