[发明专利]基板端缘部覆膜的除去装置有效
| 申请号： | 200510078563.3 | 申请日： | 2005-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN1710468A | 公开（公告）日： | 2005-12-21 |
| 发明（设计）人： | 高濑真治;山口和伸;升芳明 | 申请（专利权）人： | 东京応化工业株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/133 | 分类号： | G02F1/133;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能可靠地防止大型玻璃基板的端缘部的挠曲的基板端缘部覆膜的除去装置。使基板保持部(2)的轴(4)伸长来使夹具(3)上升，在该上升位置上接取基板(W)。在该状态下，由于自重，基板(W)的周边部向下方挠曲。接着，收缩轴(4)使夹具下降直到与杆部件(17)的上表面同面。于是，基板(W)的周缘部下表面由杆部件(17)支承，基板(W)保持在水平状态下。此时，在清洗组件(10)的狭缝(11)内，利用表面张力保持着清洗液(溶剂)。从这一状态开始，使左右的清洗组件(10)前进，将基板(W)的端缘部插入到清洗组件(10)的狭缝(11)内。 | ||
| 搜索关键词： | 基板端缘部覆膜 除去 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板端缘部覆膜的除去装置，其备有基板保持部件和清洗组件，所述基板保持部件支承基板的下表面中央部并且升降自如且可以旋转，所述清洗组件可以相对于保持在该基板保持部件上的基板进退、插入基板的端缘部而除去附着在端缘部上的多余的覆膜，其特征在于，该除去装置具有基板保持部件和支承部件，所述支承部件从下方对基板的比保持在基板保持部件上的中央部更靠外侧的部分进行支承。
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