[发明专利]曝光装置有效
| 申请号： | 200510078325.2 | 申请日： | 2005-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1703137A | 公开（公告）日： | 2005-11-30 |
| 发明（设计）人： | 三宅健;今西贤 | 申请（专利权）人： | 三荣技研股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种通过消除曝光时带状基板因自重向下弯曲而产生的不良，对带状基板和光掩模高精度地进行位置对准，从而提供均匀品质的产品的曝光装置。该曝光装置沿带状基板(1)的长度方向一边间歇地送给带状基板(1)、一边每隔规定长度区域进行曝光。通过驱动装置(19)，使具有附着感光材料的曝光面的柔性带状基板1在抽出用卷盘(14)和卷绕用卷盘(15)之间移动。在抽出用卷盘(14)和卷绕用卷盘(15)之间形成带状基板(1)成为垂直状态的垂直路径。在垂直路径设置曝光部。曝光部具有光掩模(21、22)。通过来自光源的光将光掩模(21、22)上绘制的图形转印到带状基板(1)的曝光面上。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1、一种曝光装置，其用于沿带状基板的长度方向一边间歇送给带状基板、一边每隔规定的长度区域曝光该带状基板，其特征在于，包括：将至少单面具有附着了感光材料的曝光面的柔性带状基板卷成圆筒状的抽出用卷盘；用于将上述带状基板卷绕成圆筒状、且自上述抽出用卷盘隔开规定的距离设置的卷绕用卷盘；用于从上述抽出用卷盘到卷绕用卷盘间歇送给上述带状基板的驱动装置；在上述抽出用卷盘和上述卷绕用卷盘之间设置的、且具有能接近或接触上述曝光面的至少一个光掩模的曝光部；以及用于将上述光掩模上绘制的图形转印到上述带状基板的上述曝光面上的光源，在上述抽出用卷盘和上述卷绕用卷盘之间形成上述带状基板成为垂直状态的垂直路径，在上述垂直路径设置上述曝光部。
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