[发明专利]电极基板及其制造方法、静电致动器、液滴喷吐头无效
| 申请号： | 200510078001.9 | 申请日： | 2005-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1721188A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 大谷和史;牧垣奉宏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以在电极基板上以简易的工序高精度地形成各种形状的凹部的电极基板的制造方法以及电极基板、静电致动器、液滴喷吐头、液滴喷吐装置。本发明的电极基板的制造方法，具有：通过在玻璃基板(4a)上冲压接触压模来冲压成形，形成凹部(41)的第1工序，和在凹部(41)的底面上设置电极(42)的第2工序。优选上述冲压成形是在将所述基板加热到350～800℃的温度的状态下进行的。优选构成玻璃基板(4a)的玻璃的热膨胀系数为20×10－7～90×10－7℃ | ||
| 搜索关键词： | 电极 及其 制造 方法 静电 致动器 喷吐 | ||
【主权项】：
1、一种电极基板的制造方法，其特征在于，具有：第1工序，其通过在以玻璃为主材料构成的基板上冲压接触压模来冲压成形，形成凹部；和第2工序，其在所述凹部的底面设置电极。
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