[发明专利]半导体元件有效
| 申请号： | 200510076776.2 | 申请日： | 2005-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1722426A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 陈桂顺;林进祥;严永松;赖志明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/52 | 分类号： | H01L23/52;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体元件，半导体元件包含有多个散射条设置于一隔离导线两侧，以改善微影制程的结果，各散射条具有一定的宽度并与隔离的导线间距有一定距离，以增加对半导体元件进行图案化时的微影制程的聚焦深度，且在完成半导体元件的制作后，这些散射条将仍存留于半导体元件内。本发明所述半导体元件，可增加导线图案在黄光制程中的聚焦深度，因此可改善半导体元件的关键尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 | ||
【主权项】：
1、一半导体元件，所述半导体元件包含有：一工作部件；一绝缘材料设于该工作部件上；一第一导线设于该绝缘材料内，该第一导线具有一第一侧与一第二侧，并具有一第一长度；以及N个第一散射条设于该绝缘材料内该第一导线的该第一侧旁，且与该第一导线的该第一侧分隔，该第一散射条具有一第二长度，该第二长度等于该第一长度，该第一导线为电性主动，而该N条第一散射条则为非电性主动。
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