[发明专利]清洗阵列基底的自动方法无效
申请号: | 200510075218.4 | 申请日: | 2005-06-07 |
公开(公告)号: | CN1706565A | 公开(公告)日: | 2005-12-14 |
发明(设计)人: | 阿瑟·施莱费尔 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 肖善强 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了用于清洗阵列基底的方法。所述方法包括将阵列基底与第一清洗溶液相接触以及触发自动清洗过程。所述的自动清洗过程包括:a)将阵列基底与第一清洗溶液分离,b)将阵列基底与第二清洗溶液接触,c)在受控条件下于第二清洗溶液中对阵列基底进行保育,d)将阵列基底与第二清洗溶液分离,e)将阵列基底与第三清洗溶液接触,以及f)将阵列基底与第三清洗溶液分离。 | ||
搜索关键词: | 清洗 阵列 基底 自动 方法 | ||
【主权项】:
1.一种清洗阵列基底的方法,所述方法包括将阵列基底与第一清洗溶液接触,以及触发自动清洗过程,所述自动清洗过程包括a)将所述阵列基底与所述第一清洗溶液分离,其中,所述分离消耗少于大约10秒的时间,b)在将所述阵列基底与所述第一清洗溶液分离之后大约15秒之内,将所述阵列基底与第二清洗溶液接触,c)在包括时间和温度的受控条件下,于所述第二清洗溶液中对所述阵列基底进行保育,d)将所述阵列基底与所述第二清洗溶液分离,其中,所述分离消耗少于大约10秒的时间,e)将所述阵列基底与前种清洗溶液分离之后大约15秒之内,将所述阵列基底与第三清洗溶液接触,和f)将所述阵列基底与所述第三清洗溶液分离,其中所述分离消耗至少大约3秒至至多大约120秒的时间。
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